Распршивање мете, као основна технологија површинског инжењеринга и технологије танког филма, односи се на употребу јона или других наелектрисаних честица да погоде мету у високоенергетском стању, чиме се покреће пренос кинетичке енергије и транспорт материјала циљних атома или молекула . Побуђени атоми или молекули се одвајају од циљне површине и депонују се на подлогу брзим кретањем, формирајући танак филм са униформном или специфичном структуром.
1. Класификација
(1) ДЦ распршивање
Принцип: ДЦ распршивање користи константан извор једносмерне струје као извор енергије и углавном је погодан за мете са добром проводљивошћу, као што су метали.
Карактеристике: Има предности једноставне опреме, лаког рада и високе стопе таложења. Ово се не односи на изолационе материјале, јер они не могу успоставити ефикасан транспорт пуњења.
(2) Радиофреквентно распршивање
Принцип: Радиофреквентно распршивање користи радиофреквентну снагу (обично у опсегу МХз) тако да се непроводни материјали (као што су керамика, оксиди) такође могу распршити.
Карактеристике: Може да прска изолационе материјале са већом уједначеношћу таложења. Међутим, због сложеног система напајања и управљања, трошкови и тешкоће одржавања су релативно високи.
(3) Магнетронско распршивање
Принцип: На основу традиционалног распршивања, магнетно поље се генерише постављањем магнета близу мете, чиме се повећава густина и стабилност плазме.
Карактеристике: Побољшана ефикасност прскања и квалитет филма, смањена циљна потрошња. Може да ради на нижем ваздушном притиску, чиме се смањује утицај честица гаса на филм.
(4) Реактивно распршивање
Принцип: Током процеса распршивања, реактивни гасови (као што су кисеоник, азот) се уводе у радну атмосферу да би хемијски реаговали са циљним атомима да би се формирао филм једињења.
Карактеристике: Могу се припремити различити сложени филмови, као што су оксиди, нитриди, карбиди, итд. Међутим, контрола је компликована и захтева прецизно подешавање брзине протока и притиска реактивног гаса.
(5) Пулсно магнетронско распршивање велике снаге
Принцип: Користите импулсно напајање велике снаге за генерисање плазме високе густине у кратком временском периоду да бисте повећали брзину распршивања.
Карактеристике: Могу се добити глаткији и гушћи филмови. Али због велике потрошње енергије, управљање топлотом и издржљивост уређаја постају изазови.
2.Апплицатион
(1) Индустрија полупроводника
Технологија распршивања се користи за наношење проводљивих, изолационих и заштитних слојева који су критични за производњу интегрисаних кола високих перформанси и микроелектронских уређаја.
(2) Оптичке апликације
Огледала и антирефлексни премази: Танки филмови припремљени техникама распршивања могу се користити за производњу различитих оптичких компоненти као што су сочива, сочива и огледала у ласерским системима. Слој који апсорбује светлост и проводни слој у соларним ћелијама се такође често припремају распршивањем.
(3) Декоративни премаз
Аутомобилска и грађевинска индустрија: Напрскане фолије се користе за декоративне премазе на аутомобилским деловима и грађевинским материјалима, не само да пружају естетски изглед већ и повећавају отпорност материјала на хабање и корозију. Кућишта и декоративни делови потрошачке електронике као што су мобилни телефони и рачунари такође често користе технологију распршивања за премазивање лепих филмова отпорних на хабање.
(4) Специјалне функционалне фолије
Може да одложи филмове високе тврдоће и отпорне на хабање на површине алата и калупа како би продужио век трајања алата. Штавише, распршени филмови се могу користити за подешавање пропусности светлости у технологији паметних прозора за зграде и аутомобиле.
(5) Област биомедицине
Биокомпатибилни филмови се генерално наносе техникама распршивања како би се побољшала компатибилност вештачких зглобова или зубних имплантата са људским телом.
ФАНМЕТАЛ може да обезбеди купцима различите металне мете за распршивање, као што су мете за распршивање титанијума алуминијума, мете од волфрама и мете за распршивање метала хрома, итд.
