Са структурне тачке гледишта, мета се углавном састоји од два дела: „мете празна“ и „задња плоча“. Слепа мета је материјал мете који је бомбардован брзим јонским снопом. То је основни део мете за распршивање и укључује контролу оријентације метала високе чистоће и зрна. Задња плоча углавном игра улогу фиксирања мете за прскање и укључује процес заваривања. Тренутно, уобичајени материјали задње плоче за распршивање углавном укључују бакар без кисеоника, легуре бакра, молибден и материјале за позадину цеви од нерђајућег челика.
1. Разлози за постављање задње плоче
Склоп мете се састоји од мете са перформансама распршивања смеше и задње плоче комбиноване са метом заваривањем. У процесу прскања, циљни склоп је у тешком радном окружењу. Једна страна позадинске плоче је снажно хлађена одређеним притиском расхладне воде, док је једна страна празне мете у високотемпературном вакуумском окружењу, тако да се на супротним странама циљног склопа формира огромна разлика притиска. Поред тога, једна страна мете је бомбардована разним честицама у високонапонском електричном пољу и јаком магнетном пољу, а ствара се много топлоте.
У овако тешким условима, да би се обезбедила стабилност квалитета филма и квалитета склопа мете, квалитет циљне гредице и задње плоче и брзина заваривања постају све захтевнији, иначе је лако водити до деформације и пуцања склопа мете у врућим условима, што утиче на квалитет филма и чак узрокује оштећење основе за распршивање.
2. Материјали за израду задње плоче
Подлога се углавном користи за фиксирање циљаног материјала за распршивање и треба да има добру електричну и топлотну проводљивост. Током процеса облагања магнетронским распршивањем, мета мора да издржи и притисак расхладне воде на задњој страни и вакуумски негативни притисак на предњој страни. Бакар и легура бакра се често бирају као циљне основне плоче јер имају следеће предности:
(1) Висока топлотна проводљивост: Може ефикасно да спроведе топлоту генерисану на циљној површини током процеса прскања у систем хлађења. Ово помаже у одржавању стабилне температуре мете и спречава пуцање мете или деградацију перформанси услед прегревања.
(2) Има високу електричну проводљивост: може побољшати ефикасност проводљивости струје током процеса прскања. Ово помаже у смањењу губитака отпора између мете и магнетронског система за распршивање, чиме се побољшава ефикасност распршивања.
(3) Висока механичка чврстоћа: може пружити стабилну подршку. Ово помаже да се осигура да мета не пукне услед вибрација или напрезања током процеса прскања.
(4)Уједначено распршивање: Бакарна задња плоча може побољшати дистрибуцију електромагнетног поља мете, чиме се постиже уједначеније прскање и побољшава униформност филма.
(5) Продужите животни век мете: Због високе топлотне проводљивости и електричне проводљивости бакарне позадинске плоче, радна температура и губитак отпора мете могу се смањити, чиме се успорава хабање мете и продужава његово век.
3. Процес везивања задње плоче
(1) Претходно обрадите површину мете и задње мете пре везивања;
(2) Поправите задњу мету на сто за грејање, поставите мету на задњу плочу и загрејте је до температуре везивања;
(3) Метализирајте мету и задњу мету и залемите мету на бакарну задњу плочу;
(4) Повежите мету и задњу мету, поставите противтег на површину мете даље од бакарне позадинске плоче и уклоните противтег након што се мета охлади;
(5) Хлађење накнадне обраде.
